기판용 지지 유닛 및 이를 사용한 기판 처리 장치

Supporting unit for substrate and substrate processing apparatus using the same

Abstract

기판용 지지 유닛 및 이를 사용한 기판 처리 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판용 지지 유닛 및 이를 사용한 기판 처리 장치는, 기판의 일측 테두리부측과 타측 테두리부측과 중앙부 일측이 메인지지바와 보조지지바에 접촉 지지되고, 나머지 부위는 노출된다. 따라서, 지지 유닛에 기판을 지지하여 기판을 처리할 때, 기판의 전체 부위가 균일하게 처리되는 효과가 있다. 그리고, 로봇의 아암으로 기판을 지지하여 메인지지바 및 보조지지바에 탑재할 때, 메인지지바와 보조지지바의 사이에 로봇의 아암이 위치되게 하여 로봇의 아암을 하강시키면 되므로, 기판을 메인지지바 및 보조지지바의 상측으로 이격시킨 후 하강시키기 위한 별도의 장치가 필요 없다. 따라서, 원가가 절감된다.
PURPOSE: A supporting unit for a substrate and a substrate processing apparatus using the same are provided to reduce manufacturing costs and uniformly process the substrate at the same time. CONSTITUTION: A main body (110) is formed with various shapes according to a shape of a substrate (50). A chamber (110a) is installed in the main body. The chamber provides a space for processing the substrate. A door (113) is installed in the front side of the main body and opens or closes the chamber. A support unit (200) is installed in the main body and supports the substrate.

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